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SEM4000Pro是一款分析型熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡，配備了高亮度、長壽命的肖特基場發(fā)射電子槍。三級磁透鏡設(shè)計，束流最大可達200 nA，在EDS、EBSD、WDS等應(yīng)用上具有明顯優(yōu)勢。標配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器，可觀察導(dǎo)電性弱或不導(dǎo)電樣品。標配的光學(xué)導(dǎo)航模式，以及直觀的操作界面，讓您的分析工作倍感輕松。
- 超高分辨率（0.9 nm@30 kV）
- 低真空模式（180 Pa）
- 三級磁透鏡設(shè)計
- 200 nA大束流（選配）
- 機械優(yōu)中心樣品臺
- 快速換樣倉（最大8寸）
產(chǎn)品優(yōu)勢
01 配備高亮度、長壽命的肖特基熱場發(fā)射電子槍
02 分辨率高，30 kV 下優(yōu)于 0.9 nm 的極限分辨率
03 三級磁透鏡設(shè)計，束流可調(diào)范圍大，最大支持 200 nA 的分析束流
04 無漏磁物鏡設(shè)計，可直接觀察磁性樣品
05 標配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器
06 標配的光學(xué)導(dǎo)航模式，中文操作軟件，讓分析工作更輕松
應(yīng)用案例
產(chǎn)品參數(shù)
| 關(guān)鍵參數(shù) | 高真空分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV，SE |
| 低真空分辨率 | 2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa | |
| 1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa | ||
| 加速電壓 | 200 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x | |
| 電子槍類型 | 肖特基熱場發(fā)射電子槍 | |
| 樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動控制 |
| 低真空模式 | 最大180 Pa | |
| 攝像頭 | 雙攝像頭 | |
| （光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控） | ||
| 行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探測器和擴展 | 標配 | 旁側(cè)二次電子探測器（ETD） |
| 低真空二次電子探測器（LVD） | ||
| 插入式背散射電子探測器（BSED） | ||
| 選配 | 能譜儀（EDS） | |
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 插入式掃描透射探測器（STEM） | ||
| 樣品交換倉 | ||
| 軌跡球&旋鈕控制板 | ||
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows | |
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
